| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110079763 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 16 |
| Seiten | 1419-23 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |