Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110079763 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 16 |
Seiten | 1419-23 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |