Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110079828 |
HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 16 |
Seiten | 1547-51 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |