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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1088-7
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Zitationen: 2

In situ diagnostic capabilities for beam position and beam intensity monitoring at SyLMAND

Subramanian, V.; Achenbach, S.; Klymyshyn, D.; Wells, G.; Dolton, W.; Nagarkal, V.; Yates, B.; Mullin, C.; Augustin, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110079828
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Seiten 1547-51
Nachgewiesen in Web of Science
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