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Epitaxially stabilized TiN/(Ti,Fe,Co)N multilayer thin films in (pseudo-)fcc crystal structure by sequential magnetron sputter deposition

Klever, C.; Seemann, K.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Brunken, H.; Ludwig, A.; Leiste, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0022-3727/43/39/395406
KITopen ID: 110080242
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Journal of Physics D
Band 43
Seiten 395406/1-6
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