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Epitaxially stabilized TiN/(Ti,Fe,Co)N multilayer thin films in (pseudo-)fcc crystal structure by sequential magnetron sputter deposition

Klever, C. 1; Seemann, K. ORCID iD icon 1; Stüber, M. 1; Ulrich, S. 1; Brunken, H.; Ludwig, A.; Leiste, H. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0022-3727/43/39/395406
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Zitationen: 2
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110080242
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Journal of Physics D
Band 43
Seiten 395406/1-6
Nachgewiesen in Scopus
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