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Integrated microinterferometric sensor for in-plane displacement measurement

Krezel, J.; Kujawinska, M.; Mohr, J.; Guttmann, M.; Wissmann, M.; Tonchev, S.; Parriaux, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1364/AO.49.006243
KITopen ID: 110081212
HGF-Programm 43.14.03; LK 01
Erschienen in Applied Optics
Band 49
Seiten 6243-6252
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