Integrated microinterferometric sensor for in-plane displacement measurement
Krezel, J.; Kujawinska, M.; Mohr, J. 1; Guttmann, M.
1; Wissmann, M. 1; Tonchev, S.; Parriaux, O.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Wissmann, M. 1; Tonchev, S.; Parriaux, O.1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110081212 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erschienen in | Applied Optics |
| Band | 49 |
| Seiten | 6243-6252 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |