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Integrated microinterferometric sensor for in-plane displacement measurement

Krezel, J.; Kujawinska, M.; Mohr, J.; Guttmann, M.; Wissmann, M.; Tonchev, S.; Parriaux, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081212
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Applied Optics
Band 49
Seiten 6243-6252
Nachgewiesen in Scopus
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