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Integrated microinterferometric sensor for in-plane displacement measurement

Krezel, J.; Kujawinska, M.; Mohr, J. 1; Guttmann, M. 1; Wissmann, M. 1; Tonchev, S.; Parriaux, O.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1364/AO.49.006243
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Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081212
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration
Erschienen in Applied Optics
Band 49
Seiten 6243-6252
Nachgewiesen in Dimensions
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