Vertical high-Q RF-MEMS devices for reactive lumped-element circuits
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110081266 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques |
| Band | 58 |
| Seiten | 2976-2986 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |