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Vertical high-Q RF-MEMS devices for reactive lumped-element circuits

Klymyshyn, D.M.; Börner, M.; Haluzan, D.T.; Santosa, E.G.; Schaffer, M.; Achenbach, S.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/TMTT.2010.2079092
KITopen ID: 110081266
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques
Band 58
Seiten 2976-2986
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