| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110081645 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erschienen in | Applied Surface Science |
| Band | 256 |
| Seiten | 2927-2933 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |