Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110081645 |
HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
Erschienen in | Applied Surface Science |
Band | 256 |
Seiten | 2927-2933 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |