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X-ray diffraction imaging of dislocation generation related to microcracks in Si wafers

Wittge, J.; Danilewsky, A.; Allen, D.; McNally, P.; Li, Z.J.; Baumbach, T.; Gorostegui-Colinas, E.; Garagorri, J.; Elizalde, M.R.; Jacques, D.; Fossati, M.C.; Bowen, D.K.; Tanner, B.K.

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1154/1.3392369
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Zitationen: 7
Web of Science
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081701
HGF-Programm 55.51.20 (POF II, LK 02)
Erschienen in Powder Diffraction
Band 25
Seiten 99-103
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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