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Polyimide-based X-ray masks with advanced performance of pattern accuracy and thermal stability

Kinuta, S.; Saita, Y.; Kobayashi, M.; Boerner, M. 1; Saile, V. 1; Hosaka, S.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1098-5
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Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081886
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Seiten 1299-1302
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
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