Polyimide-based X-ray masks with advanced performance of pattern accuracy and thermal stability
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110081886 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 16 |
| Seiten | 1299-1302 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |