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Numerical simulation of turbomolecular pump over a wide range of gas rarefaction

Sharipov, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1116/1.3484139
KITopen ID: 110081954
HGF-Programm 31.30.02; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 28
Seiten 1312-1315
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