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Numerical simulation of turbomolecular pump over a wide range of gas rarefaction

Sharipov, F.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.3484139
Scopus
Zitationen: 8
Web of Science
Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081954
HGF-Programm 31.30.02 (POF II, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 28
Seiten 1312-1315
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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