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Quality analysis of selective microparticle deposition on electrically programmable surfaces

Wagner, J.; Löffler, F.; König, K.; Fernandez, S.; Nesterov-Müller, A.; Breitling, F.; Bischoff, F.R.; Stadler, V.; Hausmann, M.; Lindenstruth, V.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.3456986
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Zitationen: 2
Web of Science
Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110081974
HGF-Programm 47.01.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 81
Seiten 973703/1-6
Nachgewiesen in Web of Science
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