Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain

Prokop, J.; Eberl, C.; Funk, M.; Prüfe, P.; Lorenz, J.; Piotter, V.; Welz, M.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.

doi:10.1007/s00542-011-1256-4

Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain

Prokop, J. ¹; Eberl, C. ²; Funk, M. ²; Prüfe, P. ¹; Lorenz, J. ¹; Piotter, V. ¹; Welz, M. ¹; Ritzhaupt-Kleissl, H. J. ¹
¹ Institut für Materialforschung (IMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
² Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.1007/s00542-011-1256-4

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2011
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110082605
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erschienen in	Microsystem Technologies
Band	17
Seiten	281-288
Nachgewiesen in	Dimensions Web of Science Scopus

Repository KITopen

Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain