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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-011-1256-4

Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain

Prokop, J.; Eberl, C.; Funk, M.; Prüfe, P.; Lorenz, J.; Piotter, V.; Welz, M.; Ritzhaupt-Kleissl, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110082605
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 17
Seiten 281-288
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