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Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain

Prokop, J. 1; Eberl, C. 2; Funk, M. 2; Prüfe, P. 1; Lorenz, J. 1; Piotter, V. 1; Welz, M. 1; Ritzhaupt-Kleissl, H. J. 1
1 Institut für Materialforschung (IMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-011-1256-4
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Zitationen: 7
Web of Science
Zitationen: 6
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110082605
HGF-Programm 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 17
Seiten 281-288
Nachgewiesen in Scopus
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