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Experimental results and numerical modeling of a high-performance large-scale cryopump. I. Test particle Monte Carlo simulation

Luo, X.; Day, C.; Haas, H.; Varoutis, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110083620
HGF-Programm 31.30.02; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 29
Seiten 041601/1-7
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