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Nitrogen self-diffusion in magnetron sputtered Si-C-N films

Hüger, E.; Schmidt, H.; Geue, T.; Stahn, J.; Tietze, U.; Lott, D.; Markwitz, A.; Geckle, U. 1; Bruns, M. 1
1 3D Matter Made to Order (3DMM2O), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.3585780
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Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110083806
HGF-Programm 43.15.02 (POF II, LK 01) Storage of electrical energy
Erschienen in Journal of Applied Physics
Band 109
Seiten 093522/1-8
Nachgewiesen in Web of Science
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