Microstructure and residual stress of magnetron sputtered nanocrystalline palladium and palladium gold films on polymer substrates
Castrup, A. 1; Kübel, C.
1; Scherer, T. 1; Hahn, H. 1
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Scherer, T. 1; Hahn, H. 11 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110084570 |
| HGF-Programm | 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect. |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 29 |
| Seiten | 021013/1-6 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |