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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.3554265
Web of Science
Zitationen: 5

Microstructure and residual stress of magnetron sputtered nanocrystalline palladium and palladium gold films on polymer substrates

Castrup, A.; Kübel, C.; Scherer, T.; Hahn, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110084570
HGF-Programm 43.16.02; LK 02
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 29
Seiten 021013/1-6
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