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Microstructure and residual stress of magnetron sputtered nanocrystalline palladium and palladium gold films on polymer substrates

Castrup, A. 1; Kübel, C. ORCID iD icon 1; Scherer, T. 1; Hahn, H. 1
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.3554265
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Zitationen: 8
Web of Science
Zitationen: 8
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Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110084570
HGF-Programm 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect.
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 29
Seiten 021013/1-6
Nachgewiesen in Scopus
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