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Microstructure and residual stress of magnetron sputtered nanocrystalline palladium and palladium gold films on polymer substrates

Castrup, A.; Kübel, C.; Scherer, T.; Hahn, H.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.3554265
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Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 5
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seit 03.08.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110084570
HGF-Programm 43.16.02 (POF II, LK 02)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 29
Seiten 021013/1-6
Nachgewiesen in Scopus
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