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Polymerization of SU-8 under irradiation stimulated by temperature increase

Nazmov, V.; Berger, M. 1; Heissler, S. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1134/S1027451011110139
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Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1027-4510, 1819-7094
KITopen-ID: 110085636
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik
Erschienen in Journal of surface investigation
Verlag Springer Verlag
Band 5
Seiten 1023-1027
Nachgewiesen in Web of Science
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