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Polymerization of SU-8 under irradiation stimulated by temperature increase

Nazmov, V.; Berger, M.; Heissler, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1134/S1027451011110139
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seit 22.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1027-4510, 1819-7094
KITopen-ID: 110085636
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Journal of surface investigation
Band 5
Seiten 1023-1027
Nachgewiesen in Scopus
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