KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Polymerization of SU-8 under irradiation stimulated by temperature increase

Nazmov, V.; Berger, M.; Heissler, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1027-4510, 1819-7094
KITopen ID: 110085636
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Erschienen in Journal of surface investigation
Band 5
Seiten 1023-1027
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page