Polymerization of SU-8 under irradiation stimulated by temperature increase
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1027-4510, 1819-7094 KITopen-ID: 110085636 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Journal of surface investigation |
| Verlag | Springer-Verlag |
| Band | 5 |
| Seiten | 1023-1027 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
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seit 22.05.2018
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