Controlled flow to arc transition in sputtering for high rate deposition of carbon films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110085815 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Diamond and Related Materials |
| Band | 20 |
| Seiten | 68-74 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |