Room temperature oxidation of magnetron sputtered Si-C-N films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110086099 |
| HGF-Programm | 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect. |
| Erschienen in | Applied Surface Science |
| Band | 258 |
| Seiten | 2944-2947 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |