KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Synthesis of Al-Cr-O-N thin films in corundum and f.c.c. structure by reactive r.f. magnetron sputtering

Stueber, M. 1; Diechle, D. 1; Leiste, H. 1; Ulrich, S. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2011.01.144
Scopus
Zitationen: 36
Web of Science
Zitationen: 31
Dimensions
Zitationen: 34
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen-ID: 110086983
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Thin solid films
Verlag Elsevier
Band 519
Seiten 4025-4031
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page