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Synthesis of Al-Cr-O-N thin films in corundum and f.c.c. structure by reactive r.f. magnetron sputtering

Stueber, M.; Diechle, D.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2011.01.144
Scopus
Zitationen: 30
Web of Science
Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen-ID: 110086983
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01)
Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Thin solid films
Band 519
Seiten 4025-4031
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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