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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2011.01.144
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Zitationen: 19
Web of Science
Zitationen: 11

Synthesis of Al-Cr-O-N thin films in corundum and f.c.c. structure by reactive r.f. magnetron sputtering

Stueber, M.; Diechle, D.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen ID: 110086983
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Thin solid films
Band 519
Seiten 4025-4031
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