Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering
Krause, B.
1; Darma, S. 1; Kaufholz, M. 1; Gräfe, H. H. 1; Ulrich, S. 2; Mantilla, M.; Weigel, R.; Rembold, S.; Baumbach, T. 1
1 Institut für Synchrotronstrahlung (ISS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Darma, S. 1; Kaufholz, M. 1; Gräfe, H. H. 1; Ulrich, S. 2; Mantilla, M.; Weigel, R.; Rembold, S.; Baumbach, T. 11 Institut für Synchrotronstrahlung (ISS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110086985 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Journal of Synchrotron Radiation |
| Band | 19 |
| Seiten | 216-222 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |