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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1107/S0909049511052320

Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering

Krause, B.; Darma, S.; Kaufholz, M.; Gräfe, H.H.; Ulrich, S.; Mantilla, M.; Weigel, R.; Rembold, S.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110086985
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Journal of Synchrotron Radiation
Band 19
Seiten 216-222
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