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Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering

Krause, B. 1; Darma, S. 1; Kaufholz, M. 1; Gräfe, H. H. 1; Ulrich, S. 2; Mantilla, M.; Weigel, R.; Rembold, S.; Baumbach, T. 1
1 Institut für Synchrotronstrahlung (ISS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1107/S0909049511052320
Scopus
Zitationen: 20
Web of Science
Zitationen: 21
Dimensions
Zitationen: 21
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110086985
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Journal of Synchrotron Radiation
Band 19
Seiten 216-222
Nachgewiesen in Scopus
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