Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110088140 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 98 |
Seiten | 582-586 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |