| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110088140 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 98 |
| Seiten | 582-586 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |