Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110088292 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Thin Solid Films |
Band | 520 |
Seiten | 4369-4372 |
Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions |