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Frequency and phase noise of ultrahigh Q silicon nitride nanomechanical resonators

Fong, K. Y.; Pernice, W. H. P. 1; Tang, H. X.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1103/PhysRevB.85.161410
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Zitationen: 47
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Zitationen: 66
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110089489
HGF-Programm 43.14.01 (POF II, LK 01) Photonics crystals and metamaterials
Erschienen in Physical Review B
Band 85
Seiten 161410/1-5
Nachgewiesen in Dimensions
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