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High Q micro-ring resonators fabricated from polycrystalline aluminum nitride films for near infrared and visible photonics

Pernice, W. H. P. 1; Xiong, C.; Tang, H. X.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1364/OE.20.012261
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Zitationen: 43
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Zitationen: 46
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110089490
HGF-Programm 43.14.01 (POF II, LK 01) Photonics crystals and metamaterials
Erschienen in Optics Express
Band 20
Seiten 12261-12269
Nachgewiesen in Dimensions
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