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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1364/OE.20.012261

High Q micro-ring resonators fabricated from polycrystalline aluminum nitride films for near infrared and visible photonics

Pernice, W.H.P.; Xiong, C.; Tang, H.X.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110089490
HGF-Programm 43.14.01; LK 01
Erschienen in Optics Express
Band 20
Seiten 12261-12269
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