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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.diamond.2011.12.024

Extension of the cubic boron nitride thin film growth phase diagram

Weidner, S.; Geburt, S.; Milz, S.; Ye, J.; Ulrich, S.; Ronning, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110090532
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Diamond and Related Materials
Band 22
Seiten 88-91
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