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Energy fluxes in a radio-frequency magnetrom discharge for the deposition of superhard cubic boron nitride coatings

Bornholdt, S.; Ye, J.; Ulrich, S.; Kersten, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110090536
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Journal of Applied Physics
Band 112
Seiten 123301/1-9
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