Energy fluxes in a radio-frequency magnetrom discharge for the deposition of superhard cubic boron nitride coatings
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110090536 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Journal of Applied Physics |
| Band | 112 |
| Seiten | 123301/1-9 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |