| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 110091386 |
| HGF-Programm | 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect. |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 31 |
| Seiten | 031805/1-8 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Web of Science Dimensions |