Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 110091386 |
HGF-Programm | 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect. |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 31 |
Seiten | 031805/1-8 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |