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Study of threading dislocation density reduction in AlGaN epilayers by Monte Carlo simulation of high-resolution reciprocal-space maps of a two-layer system

Lazarev, S. 1; Barchuk, M. 1; Bauer, S. 1; Forghani, K.; Holy, V.; Baumbach, T. 1; Scholz, F.
1 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1107/S0021889812043051
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Zitationen: 12
Web of Science
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 11
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8898, 1600-5767
KITopen-ID: 110091685
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erschienen in Journal of applied crystallography
Verlag International Union of Crystallography
Band 46
Heft Part 1
Seiten 120-127
Nachgewiesen in Scopus
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