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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TPS.2013.2262393
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Zitationen: 3

Surface layer dynamics during e-beam treatment

Fetzer, R.; An, W.; Weisenburger, A.; Mueller, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110093283
HGF-Programm 32.30.02; LK 01
Erschienen in IEEE Transactions on Plasma Science
Band 41
Seiten 2858-2862
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