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Surface layer dynamics during e-beam treatment

Fetzer, R. 1; An, W. 1; Weisenburger, A. 1; Mueller, G. 1
1 Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TPS.2013.2262393
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Zitationen: 6
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110093283
HGF-Programm 32.30.02 (POF II, LK 01) Materialien
Erschienen in IEEE Transactions on Plasma Science
Band 41
Seiten 2858-2862
Nachgewiesen in Scopus
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Web of Science
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