Reference nano-dimensional metrology by scanning transmission electron microscopy
Dai, G.; Heidelmann, M.; Kübel, C.
1; Prang, R. 1,2; Fluegge, J. 2; Bosse, H.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Prang, R. 1,2; Fluegge, J. 2; Bosse, H.1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501 KITopen-ID: 110093580 |
| HGF-Programm | 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect. |
| Erschienen in | Measurement science and technology |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 24 |
| Seiten | 085001/1-9 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |