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Reference nano-dimensional metrology by scanning transmission electron microscopy

Dai, G.; Heidelmann, M.; Kübel, C. ORCID iD icon 1; Prang, R. 1,2; Fluegge, J. 2; Bosse, H.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/24/8/085001
Scopus
Zitationen: 33
Web of Science
Zitationen: 26
Dimensions
Zitationen: 31
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501
KITopen-ID: 110093580
HGF-Programm 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect.
Erschienen in Measurement science and technology
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 24
Seiten 085001/1-9
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
Web of Science
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