KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/24/8/085001
Scopus
Zitationen: 14
Web of Science
Zitationen: 11

Reference nano-dimensional metrology by scanning transmission electron microscopy

Dai, G.; Heidelmann, M.; Kübel, C.; Prang, R.; Fluegge, J.; Bosse, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501
KITopen ID: 110093580
HGF-Programm 43.16.02; LK 02
Erschienen in Measurement science and technology
Band 24
Seiten 085001/1-9
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page