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Phase formation and microstructure evolution of reactively r.f. magnetron sputtered Cr-Zr oxynidride thin films

Spitz, S. 1; Stueber, M. 1; Leiste, H. 1; Ulrich, S. 1; Seifert, H. J. 1
1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2013.08.034
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Zitationen: 7
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Zitationen: 7
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Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0257-8972, 1879-3347
KITopen-ID: 110093752
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Surface and coatings technology
Verlag Elsevier
Band 237
Seiten 149-157
Nachgewiesen in Web of Science
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