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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2013.08.034
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Phase formation and microstructure evolution of reactively r.f. magnetron sputtered Cr-Zr oxynidride thin films

Spitz, S.; Stueber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0257-8972, 1879-3347
KITopen ID: 110093752
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Surface and coatings technology
Band 237
Seiten 149-157
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