Phase formation and microstructure evolution of reactively r.f. magnetron sputtered Cr-Zr oxynidride thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0257-8972, 1879-3347 KITopen-ID: 110093752 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Surface and coatings technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 237 |
| Seiten | 149-157 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |