Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer

Scholz, F.; Forghani, K.; Klein, M.; Klein, O.; Kaiser, U.; Neuschl, B.; Tischer, I.; Feneberg, M.; Thonke, K.; Lazarev, S.; Bauer, S.; Baumbach, T.

doi:10.7567/JJAP.52.08JJ07

Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer

Scholz, F.; Forghani, K.; Klein, M.; Klein, O.; Kaiser, U.; Neuschl, B.; Tischer, I.; Feneberg, M.; Thonke, K.; Lazarev, S. ¹; Bauer, S. ¹; Baumbach, T. ¹
¹ ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.7567/JJAP.52.08JJ07

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Zugehörige Institution(en) am KIT	ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0021-4922, 1347-4065 KITopen-ID: 110093891
HGF-Programm	55.51.20 (POF II, LK 02) Infrastr.u.Betrieb ANKA-Beschleunigeranl
Erschienen in	Japanese journal of applied physics
Verlag	Japan Society of Applied Physics
Band	52
Heft	8S
Seiten	08JJ07/1-4
Nachgewiesen in	Web of Science Scopus Dimensions

Repository KITopen

Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer