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Originalveröffentlichung
DOI: 10.7567/JJAP.52.08JJ07
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Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer

Scholz, F.; Forghani, K.; Klein, M.; Klein, O.; Kaiser, U.; Neuschl, B.; Tischer, I.; Feneberg, M.; Thonke, K.; Lazarev, S.; Bauer, S.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-4922, 1347-4065
KITopen ID: 110093891
HGF-Programm 55.51.20; LK 02
Erschienen in Japanese journal of applied physics
Band 52
Heft 8S
Seiten 08JJ07/1-4
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