| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110094264 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Advanced Engineering Materials |
| Band | 14 |
| Seiten | 696-709 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |