| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110094953 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 169-174 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |