Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110094953 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 20 |
Heft | 1 |
Seiten | 169-174 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |