| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0034-6748, 1089-7623, 1527-2400 KITopen-ID: 110096090 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erschienen in | Review of scientific instruments |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 85 |
| Seiten | 063109/1-8 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |