Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0034-6748, 1089-7623, 1527-2400 KITopen-ID: 110096090 |
HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
Erschienen in | Review of scientific instruments |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 85 |
Seiten | 063109/1-8 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |