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Deep reactive ion etching of auxetic structures: present capabilities and challenges

Muslija, A. 1; Diaz Lantada, A.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0964-1726/23/8/087001
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0964-1726, 1361-665X
KITopen-ID: 110096222
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erschienen in Smart materials and structures
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 23
Heft 8
Seiten 087001/1-7
Nachgewiesen in Scopus
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