Deep reactive ion etching of auxetic structures: present capabilities and challenges
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0964-1726, 1361-665X KITopen-ID: 110096222 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erschienen in | Smart materials and structures |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 23 |
| Heft | 8 |
| Seiten | 087001/1-7 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |