Fast and accurate X-ray lithography simulation enabled by using Monte Carlo method. New version of DoseSim: a software dedicated to deep X-ray lithography (LIGA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110096244 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 18 |
| Seiten | 1971-1980 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |