VM-TEST: Mechanical property measurement using electrostatically actuated vertical MEMS test structures fabricated in thick metal layers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110096254 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 18 |
| Seiten | 443-452 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |