KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

VM-TEST: Mechanical property measurement using electrostatically actuated vertical MEMS test structures fabricated in thick metal layers

Haluzan, D.T.; Klymyshyn, D.M.; Achenbach, S.; Börner, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-011-1408-6
KITopen ID: 110096254
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 18
Seiten 443-452
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page