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VM-TEST: Mechanical property measurement using electrostatically actuated vertical MEMS test structures fabricated in thick metal layers

Haluzan, D. T.; Klymyshyn, D. M.; Achenbach, S.; Börner, M. 1; Mohr, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-011-1408-6
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Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110096254
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 18
Seiten 443-452
Nachgewiesen in Web of Science
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