Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110096255 |
HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 18 |
Seiten | 415-421 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |