Ferroelectric thin film fabrication by direct UV-lithography
Benkler, M.; Paul, F.; Schott, J.; Hanemann, T.
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1 Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110096894 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Seiten | 1859-1867 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |