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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2015-5

LIGA2.X process for mass production of single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen ID: 110096900
HGF-Programm 43.16.01; LK 02
Erschienen in Microsystem technologies
Band 20
Seiten 1955-1960
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