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LIGA2.X process for mass production of single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2015-5
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seit 12.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110096900
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erschienen in Microsystem technologies
Band 20
Seiten 1955-1960
Nachgewiesen in Scopus
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