LIGA2.X process for mass production of single polymeric LIGA micro parts
Heneka, J. 1,2; Guttmann, M.
2; Plewa, K. 1; Mohr, J. 2; Hanemann, T. 1; Saile, V. 2
1 Institut für Angewandte Materialien – Keramische Werkstoffe und Technologien (IAM-KWT1), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Plewa, K. 1; Mohr, J. 2; Hanemann, T. 1; Saile, V. 21 Institut für Angewandte Materialien – Keramische Werkstoffe und Technologien (IAM-KWT1), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110096900 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Seiten | 1955-1960 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions |