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LIGA2.X process for mass production of single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J. 1,2; Guttmann, M. 2; Plewa, K. 1; Mohr, J. 2; Hanemann, T. 1; Saile, V. 2
1 Institut für Angewandte Materialien – Keramische Werkstoffe und Technologien (IAM-KWT1), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2015-5
Scopus
Zitationen: 3
Web of Science
Dimensions
Zitationen: 1
BibTeX (UTF-8) BibTeX (ASCII) EndNote/Refer (.enw) RIS CSL-JSON ISI
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110096900
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 20
Seiten 1955-1960
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
Dimensions
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