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Replication processes for metal and ceramic micro parts

Piotter, V. 1; Honza, E. 1; Klein, A. 1; Mueller, T. 1; Plewa, K. 1; Prokop, J.
1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2045-z
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Zitationen: 3
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Zitationen: 2
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110096988
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 20
Seiten 2011-2016
Nachgewiesen in Scopus
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