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Replication processes for metal and ceramic micro parts

Piotter, V.; Honza, E.; Klein, A.; Mueller, T.; Plewa, K.; Prokop, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2045-z
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seit 12.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110096988
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erschienen in Microsystem technologies
Band 20
Seiten 2011-2016
Nachgewiesen in Web of Science
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