Replication processes for metal and ceramic micro parts
Piotter, V. 1; Honza, E. 1; Klein, A. 1; Mueller, T.
1; Plewa, K. 1; Prokop, J.
1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Plewa, K. 1; Prokop, J.1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110096988 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Seiten | 2011-2016 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |