Microstructure and hardness of reactivity r.f. magnetron sputtered Cr-V-O thin films in dependence on composition and substrate bias
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Angewandte Geowissenschaften (AGW) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) KIT-Zentrum Klima und Umwelt (ZKU) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0257-8972, 1879-3347 KITopen-ID: 110097320 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Surface and coatings technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 257 |
| Seiten | 355-362 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |