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CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth

Loho, C.; Darbandi, A.J.; Djenadic, R.; Clemens, O.; Hahn, H.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/cvde.201307089
Scopus
Zitationen: 5
Web of Science
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0948-1907, 1521-3862
KITopen-ID: 110097469
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01)
Erschienen in Chemical vapor deposition
Band 20
Heft 4-6
Seiten 152-160
Nachgewiesen in Web of Science
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