CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Helmholtz-Institut Ulm (HIU) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0948-1907, 1521-3862, 1521-3862 = Chemical vapor deposition (Internet) KITopen ID: 110097469 |
| HGF-Programm | 43.12.01; LK 01 |
| Erschienen in | Chemical vapor deposition |
| Band | 20 |
| Heft | 4-6 |
| Seiten | 152-160 |