KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/cvde.201307089
Scopus
Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4

CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth

Loho, C.; Darbandi, A.J.; Djenadic, R.; Clemens, O.; Hahn, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0948-1907, 1521-3862, 1521-3862 = Chemical vapor deposition (Internet)
KITopen ID: 110097469
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Chemical vapor deposition
Band 20
Heft 4-6
Seiten 152-160
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page