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CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth

Loho, C.; Darbandi, A.J.; Djenadic, R.; Clemens, O.; Hahn, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110097469
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Chemical Vapor Deposition
Band 20
Seiten 152-160
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