CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Helmholtz-Institut Ulm (HIU) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0948-1907, 1521-3862 KITopen-ID: 110097469 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | Chemical vapor deposition |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 20 |
| Heft | 4-6 |
| Seiten | 152-160 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |