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CO₂-laser flash evaporation as novel CVD precursor delivery system for functional thin film growth

Loho, C.; Darbandi, A.J.; Djenadic, R.; Clemens, O.; Hahn, H.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/cvde.201307089
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Zitationen: 6
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0948-1907, 1521-3862
KITopen-ID: 110097469
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Chemical vapor deposition
Verlag Wiley-VCH Verlag
Band 20
Heft 4-6
Seiten 152-160
Nachgewiesen in Scopus
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