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Near-surface density profiling of Fe ion irradiated Si (100) using extremely asymmetric x-ray diffraction by variation of the wavelength

Khanbabaee, B.; Facsko, S.; Doyle, S.; Pietsch, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110099208
HGF-Programm 55.51.10; LK 02
Erschienen in Applied Physics Letters
Band 105
Seiten 163101/1-5
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