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X-ray diffraction imaging for predictive metrology of crack propagation in 450-mm diameter silicon wafers

Tanner, B.K.; Wittge, J.; Vagovic, P.; Baumbach, T.; Allen, D.; McNally, P.J.; Bytheway, R.; Jacques, D.; Fossati, M.C.; Bowen, D.K.; Garagorri, J.; Elizalde, M.R.; Danilewsky, A.N.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1017/S0885715613000122
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Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0885-7156, 1945-7413
KITopen-ID: 110099314
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02)
Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erschienen in Powder diffraction
Band 28
Seiten 95-99
Nachgewiesen in Web of Science
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