KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1017/S0885715613000122
Scopus
Zitationen: 2
Web of Science
Zitationen: 2

X-ray diffraction imaging for predictive metrology of crack propagation in 450-mm diameter silicon wafers

Tanner, B.K.; Wittge, J.; Vagovic, P.; Baumbach, T.; Allen, D.; McNally, P.J.; Bytheway, R.; Jacques, D.; Fossati, M.C.; Bowen, D.K.; Garagorri, J.; Elizalde, M.R.; Danilewsky, A.N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0885-7156, 1945-7413
KITopen ID: 110099314
HGF-Programm 55.51.10; LK 02
Erschienen in Powder diffraction
Band 28
Seiten 95-99
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page