| Zugehörige Institution(en) am KIT | ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Angewandte Geowissenschaften (AGW) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Toxikologie und Genetik (ITG) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) KIT-Zentrum Klima und Umwelt (ZKU) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 110099407 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 24 |
| Heft | 7 |
| Seiten | Art.Nr.: 075005/1-9 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |