Zugehörige Institution(en) am KIT | ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Angewandte Geowissenschaften (AGW) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Toxikologie und Genetik (ITG) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) KIT-Zentrum Klima und Umwelt (ZKU) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 110099407 |
HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 24 |
Heft | 7 |
Seiten | Art.Nr.: 075005/1-9 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |