Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2195-1071 KITopen-ID: 110100430 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced optical materials |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 3 |
Heft | 3 |
Seiten | 328-335 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |