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Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride

Hrkac, V.; Kobler, A.; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V.S.K.; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B.V.; Kübel, C.; Kienle, L.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4905109
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Zitationen: 8
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Zitationen: 8
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550
KITopen-ID: 110100477
HGF-Programm 49.02.01 (POF III, LK 02) INT-KNMF Characterisation Lab
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 117
Seiten 014301/1-8
Nachgewiesen in Dimensions
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