Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride
Hrkac, V.; Kobler, A. 1; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V. S. K. 2; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B. V.; Kübel, C.
1; Kienle, L.
1 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kienle, L.1 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Helmholtz-Institut Ulm (HIU) Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550 KITopen-ID: 110100477 |
| HGF-Programm | 49.02.01 (POF III, LK 02) INT-KNMF Characterisation Lab |
| Erschienen in | Journal of applied physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 117 |
| Seiten | 014301/1-8 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |