KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4905109
Scopus
Zitationen: 7
Web of Science
Zitationen: 6

Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride

Hrkac, V.; Kobler, A.; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V.S.K.; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B.V.; Kübel, C.; Kienle, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550
KITopen ID: 110100477
HGF-Programm 49.02.01; LK 02
Erschienen in Journal of applied physics
Band 117
Seiten 014301/1-8
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page