KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride

Hrkac, V.; Kobler, A. 1; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V. S. K. 2; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B. V.; Kübel, C. ORCID iD icon 1; Kienle, L.
1 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4905109
Scopus
Zitationen: 9
Web of Science
Zitationen: 8
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550
KITopen-ID: 110100477
HGF-Programm 49.02.01 (POF III, LK 02) INT-KNMF Characterisation Lab
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 117
Seiten 014301/1-8
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
Dimensions
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page