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Microstructure evolution of radio-frequency magnetron sputtered oxide thin films in the Cr-Zr-O system

Spitz, S.; Stueber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.tsf.2013.09.038
KITopen ID: 110100485
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 548
Seiten 143-149
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