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Microstructure evolution of radio-frequency magnetron sputtered oxide thin films in the Cr-Zr-O system

Spitz, S. 1; Stueber, M. 1; Leiste, H. 1; Ulrich, S. 1; Seifert, H. J. 1
1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2013.09.038
Scopus
Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 9
Dimensions
Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110100485
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erschienen in Thin Solid Films
Band 548
Seiten 143-149
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
Web of Science
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