Non-invasive nano-imaging of ion implanted and activated copper in silicon
Ballout, F.; Samson, J. S.; Schmidt, D. A.; Bründermann, E.
; Mathis, Y. L. 1; Gasharova, B. 1; Wieck, A. D.; Havenith, M.
1 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
; Mathis, Y. L. 1; Gasharova, B. 1; Wieck, A. D.; Havenith, M.1 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110100633 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Erschienen in | Journal of Applied Physics |
| Band | 110 |
| Seiten | 024307/1-7 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |