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Non-invasive nano-imaging of ion implanted and activated copper in silicon

Ballout, F.; Samson, J. S.; Schmidt, D. A.; Bründermann, E. ORCID iD icon; Mathis, Y. L. 1; Gasharova, B. 1; Wieck, A. D.; Havenith, M.
1 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.3606415
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Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110100633
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erschienen in Journal of Applied Physics
Band 110
Seiten 024307/1-7
Nachgewiesen in Dimensions
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